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產(chǎn)品特性—XYZ位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：45x45mm—承載能力：0.6Kg—緊湊型設(shè)計—高精度柔性導向

產(chǎn)品特性—XZ位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Ø35mm—承載能力：0.6Kg—高度緊湊型設(shè)計—高精度柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)導向

產(chǎn)品特性—XY位移：8μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：100x100mm—承載能力：1Kg—超低外形設(shè)計并聯(lián)結(jié)構(gòu)具有高動態(tài)性能

產(chǎn)品特性—Z位移：80μm/160μm/240μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Ø25mm—承載能力：800g—平行運動機械結(jié)構(gòu)設(shè)計—高精度柔性導向系統(tǒng)

產(chǎn)品特性—X位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Φ35mm—高度緊湊的設(shè)計帶來性能—柔性鉸鏈確保高可靠性—納米和亞納米范圍內(nèi)的高分辨率

產(chǎn)品特性—XYZ位移30μm—多種負載安裝孔位—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—高度緊湊的設(shè)計帶來性能

產(chǎn)品特性—高速響應，多軸定位—700g承載重量—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—XZ軸雙向運動

產(chǎn)品特性—高速1ms響應，多軸定位—超快的響應時間—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—高度緊湊的設(shè)計帶來很好的性能

產(chǎn)品特性—緊湊型超薄設(shè)計：移動面為40x40mm—超高定位及線性誤差—SGS閉環(huán)控制—可提供X向位移臺、可升級XY、XZ和XYZ版本

產(chǎn)品特性—高速直接驅(qū)動—大承載8Kg—閉環(huán)控制—可堆疊XY運動