產(chǎn)品描述

PSWL40-080U系列經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可提供110µm行程范圍，同時保持其緊湊的外觀。 該平臺也可用于2軸版本XZ軸，也可用于帶有X軸或Z軸的1軸版本。PS2L40-080U可與Z軸組合升級為XYZ產(chǎn)品，型號為PS3L40-080U-S。

閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運動，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。該產(chǎn)品可呆在一定的負(fù)載進(jìn)行步進(jìn)掃描動態(tài)使用。

由于其高性價比和高性能參數(shù)，該平臺在光纖對準(zhǔn)和激光寫入應(yīng)用中獲得了極大的成功。

PSWL40-080U系列的元件由集成在帶有內(nèi)部杠桿傳動裝置的殼體中的執(zhí)行器組成。 壓電平臺通過四個對角孔固定在基板上。納米臺可以通過兩個對角螺孔安裝在頂板上，由于杠桿傳動在兩個方向上均起作用，因此需要避免殼體和頂板之間的作用力，因為它們可能會損壞壓電納米位移平臺。

選配功能

—可定制孔位及轉(zhuǎn)接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可提供XYZ版本

應(yīng)用領(lǐng)域

—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡

—測量、計量

—光學(xué)探針、光學(xué)掃描、光束對準(zhǔn)

—微流體技術(shù)

                   結(jié)構(gòu)原理                                           位移特性                                           典型應(yīng)用

PSWL40-080U系列技術(shù)參數(shù)