產(chǎn)品描述

PKVL60-080U/160U/240U為定制型產(chǎn)品，專為有空間限制應用而設計的，超緊湊尺寸、超低外形結構，便于安裝集成在設備中。多種規(guī)格產(chǎn)品行程便于用戶在不同應用場合進行選擇對應產(chǎn)品。

壓電掃描臺移動面可放置物鏡進行Z軸物鏡聚焦操作，可提高圖像分辨率。移動面可以預定制多種安裝接口尺寸，方便各種轉接工裝的集成。

顯微鏡中的探頭對準通常需要一個開放的中心空間（例如，用于通過光），針對此類應用開發(fā)了該系列掃描臺，該平臺具有25 mm的中心孔。該壓電系統(tǒng)非常適合于動態(tài)應用，可以使用集成的位置傳感測量系統(tǒng)來克服光刻的影響。

壓電掃描臺可輕松與其他機械定位系統(tǒng)結合使用，非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。

PKVL60-080U/160U/240U壓電陶瓷掃描臺可選擇位置反饋閉環(huán)控制的版本，閉環(huán)版本品無遲滯和蠕變特性具有更高的位置線性精度和重復定位精度。

選配功能

—可定制轉接裝置及中心孔徑大小，可定制內(nèi)螺紋孔徑接口

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可選擇XZ/XY/XYZ軸版本（僅80μm）

應用領域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測量、測量技術

—顯微操縱

                   結構原理                                            疊堆形式                                           典型應用

PKVL60-080U/ 160U/240U系列技術參數(shù)