產(chǎn)品描述

PS1H60-024U是一款多功能的緊湊型納米定位器，可以配置以適應(yīng)多種應(yīng)用。可以將各個(gè)單軸平臺(tái)組合起來(lái)以形成多軸系統(tǒng)。通過(guò)轉(zhuǎn)接轉(zhuǎn)可組成XY二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。方便用戶升級(jí)與維護(hù)。PS1H60-024U壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)機(jī)構(gòu)的一維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺(tái)，無(wú)摩擦、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。本產(chǎn)品的運(yùn)動(dòng)范圍為30μm（開(kāi)環(huán)）。其他行程可以根據(jù)要求進(jìn)行定制。PS1H60-024U本體由鋁材質(zhì)構(gòu)成，用戶可選擇殷鋼或鈦制成，并可以進(jìn)行定制以適應(yīng)*的要求，但是參數(shù)表中給出的為鋁材質(zhì)條件下測(cè)得數(shù)據(jù)。

壓電平臺(tái)負(fù)載能力高達(dá)8kg，該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

壓電平臺(tái)固定是通過(guò)移動(dòng)面和底板上的螺紋孔實(shí)現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺(tái)或其他組件上，請(qǐng)使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過(guò)程中，應(yīng)避免過(guò)大的彎矩載荷和作用在移動(dòng)面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會(huì)損壞位移臺(tái)。

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接工裝

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可組維、可定制其他行程

應(yīng)用領(lǐng)域

—半導(dǎo)體技術(shù)、精密加工

—干涉儀、測(cè)量技術(shù)

—光纖定位、高速鏡頭聚焦

—測(cè)試程序、質(zhì)量保證

                   結(jié)構(gòu)原理                                           高速響應(yīng)                                            典型應(yīng)用

PS1H60系列技術(shù)參數(shù)