產(chǎn)品描述

PS3L45-030U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統(tǒng)。本系列產(chǎn)品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ運動并擁有獨立的Z/X軸運動產(chǎn)品。可選配內(nèi)部位置傳感器進行閉環(huán)，可進行重復(fù)的位置測量。

超薄型設(shè)計，外形尺寸僅有45x45x23.5mm，具有體積小巧，高穩(wěn)定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應(yīng)用。適用于空間需求的多軸運動定位場合。參數(shù)可根據(jù)客戶要求定制。

PS3L45-030U系列納米位移臺內(nèi)部可集成SGS位置傳感器，閉環(huán)采用全閉環(huán)設(shè)計，高精度柔性系統(tǒng)，具有零摩擦等特點，使其具有更高的定位精度及線性精度。

壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。 對于需要緊湊的尺寸，高動態(tài)性和亞納米級的定位分辨率，但又不需要的定位精度和可重復(fù)性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種經(jīng)濟高效的選擇。 在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統(tǒng)，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環(huán)設(shè)計。

選配功能

—可定制孔位及轉(zhuǎn)接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可提供X/XY/XZ版本

應(yīng)用領(lǐng)域

—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡

—測量、計量

—光學(xué)探針、光學(xué)掃描、光束對準(zhǔn)

—微流體技術(shù)

                    結(jié)構(gòu)原理                                           位移特性                                             典型應(yīng)用

PS3L45-030U系列技術(shù)參數(shù)