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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV
高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV
生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW
快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
微型PECVD系統(tǒng)
球形脈沖激光淀積系統(tǒng)（PLD）
單室等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）
小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW
高真空PECVD系統(tǒng)
GSL-450-PLD激光鍍膜設(shè)備
GSL-300-PLD激光鍍膜設(shè)備
GSL-PECVD-300化學(xué)氣相沉積
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