產(chǎn)品型號

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要（可選配我公司冷水機）。

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

產(chǎn)品特點

1、可對粉體材料進行表面包覆：采用磁控濺射，濺射時粉體材料在振動樣品臺上翻滾，達到粉體表面均勻包覆

2、設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用，可處理樣敏感性材料

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電壓：220 VAC 50/60Hz

2、電源輸出:1600 VDC 250 W

3、大電流：150 mA .

4、濺射頭：2英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭

5、振動樣品臺：

樣品臺振動頻率可調(diào)節(jié)：6-33Hz

樣品臺直徑為50mm

建議樣品量: < 500 mg

建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um

石英腔體尺寸：165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H

6、真空度：

①1.0E-2 Torr（采用機械泵），可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶

② 1.0E-5 Torr（采用分子泵），可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶大真空度可達到< 4.0E-6 Torr（分子泵系統(tǒng)抽時間12小時，腔體進行烘烤）

7、CE認證

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸：長460×寬330×高810mm  凈重：20Kg

注意事項

警告：

1、濺射頭與高壓電源相連接，操作時必須佩帶防護手套

2、濺射前必須確保靶材，濺射頭，基片和樣品臺清潔，需要用砂紙和乙醇來清洗，Al或是Ni靶每次使用時都必須清洗和處理

注意：粉末樣品必須干燥和分散