產(chǎn)品型號(hào)

生長(zhǎng)納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、由OTF-1200X-4單溫區(qū)爐演變而來(lái)的緊湊型CVD爐。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

3、帶樣品支架的右法蘭是滑動(dòng)的，方便樣品的快速取放。

4、左側(cè)的小加熱器可對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱，不銹鋼加熱腔外徑30mm、長(zhǎng)150mm，高工作溫度600℃。

5、左邊法蘭（在加熱器與CVD爐之間）裝有4個(gè)1/4″卡套連結(jié)的通氣管，具有密封和氣體通道的作用。

6、PID自整定數(shù)字控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

7、選配相關(guān)軟件可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控溫。

8、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、額定電壓：?jiǎn)蜗?/span>AC 220V  50Hz/60Hz  

2、額定功率：3KW（需20A的空氣開關(guān)）

3、石英管：外管外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø102mm，長(zhǎng)381mm

4、加熱區(qū)域：CVD爐400mm，加熱器150mm

5、工作溫度：CVD爐高1100℃（<2h），連續(xù)工作200℃-1000℃，大升降溫速率10℃/min；

         　　加熱器連續(xù)工作0-500℃，大升降溫速率10℃/min

6、控溫精度：±1℃

7、熱電偶：K型

8、右法蘭：一個(gè)3″石英樣品支架，與石英擋板、法蘭連成一體，設(shè)有KF25真空快接口，以及水冷接口（可選 配水冷機(jī)，避免O型圈融化）

9、左法蘭：有2個(gè)獨(dú)立1/4″口，可單獨(dú)將任何氣體通入爐內(nèi)，一路1/4″口將預(yù)熱氣體通入CVD爐，一路1/4″口

　　       將不加熱的氣體通入爐內(nèi)，并通過(guò)爐內(nèi)的T型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1200mm×450mm×510mm；重量：100kg

可選配件

1、水冷機(jī)

2、控溫軟件