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詳細(xì)摘要： 3個(gè)新功能：采用閉環(huán)位置控制電機(jī)配備值編碼器編碼器不需要更換電池

詳細(xì)摘要： 超潔凈無塵間用4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂STCR4000S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)，雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動作時(shí)間

詳細(xì)摘要： 3個(gè)新功能：采用閉環(huán)位置控制電機(jī)配備值編碼器編碼器不需要更換電池

詳細(xì)摘要： 超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SCR3000CS系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

詳細(xì)摘要： 超潔凈無塵間用300 mm晶圓對應(yīng)MTCR4000系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求比MTHR系列具有更好...

詳細(xì)摘要： 超潔凈無塵間用300 mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求比MHR系列具有更好的...

詳細(xì)摘要： AOI設(shè)備

詳細(xì)摘要： EFEM；AOI設(shè)備

詳細(xì)摘要： 用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂。單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，適用于EFEM的晶片搬...