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詳細介紹
特點
- 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
- 機械手臂可以單獨對應3個FOUP（280mm臂長）
- 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 可以選擇單臂規(guī)格
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式, Ethernet
- 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機, 無需電池
- 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
- 手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
- 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指
與我司以往產品的GTCR相比，減少動作禁止區(qū)域、速度限制的影響，提高傳片效率。
（比本公司以往產品提高60%）
規(guī)格
| 機械手臂型號 | GTFR5280-320-DM | |
|---|---|---|
| 被搬運物 | ～300mm晶圓 | |
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | |
| 機械結構格式 | 水平多關節(jié) | |
| 控制軸 | 5軸 | |
| 電機類型 | 全軸采用AC伺服電機, 無需電池 | |
| 可動范圍 | 被搬送物體中心到達距離 | 升降(Z軸) |
| 893mm | 320mm | 搬運速度(平均) | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 900mm/sec(圓筒動作時) | 320mm/sec | 搬運速度() | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 1,500mm/sec(圓筒動作時) | 540mm/sec | |
| 重復性精度 | ±0.05 mm以內 | |
| 潔凈度 | ISO標準 Class 1 | |
| 廠務 | 電源：単相AC200V±10% 2kVA 真空：優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |
| 質量 | 機械手臂體 大約80kg | |
上述規(guī)格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規(guī)格的一個示例
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