STCR4000S-4軸圓柱坐標(biāo)型雙臂潔凈機(jī)械手臂-北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

超潔凈無(wú)塵間用4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂STCR4000S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)，雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

雙手臂結(jié)構(gòu)，晶圓搬運(yùn)效率更高

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：100 mm，130 mm，160 mm，200 mm
Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)3 kgf以下
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi)，設(shè)備布局等要求提供的手指

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

EFEM；PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備

規(guī)格

被搬運(yùn)物	?300 mm晶圓
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動(dòng)范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）	315 mm	340度	300 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)*	570 mm/sec	220度/sec	200 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)*	1140 mm/sec	270度/sec	250 mm/sec
精度*	12.6µm以下	0.0045度	6.25 µm
搬運(yùn)高度*	620 mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
重復(fù)性精度	±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 16A 真空：優(yōu)于-53 kPa