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詳細介紹
特點
- 采用即使在負載發(fā)生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式，有效地提高了機械手臂的可靠性
- 電機配備值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置，縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
- 值編碼器為機械式，不需要更換電池
- 可以和舊型號的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現(xiàn)有設備的升級改造
- 高強度手臂?手臂第3關節(jié)處可承受3 kgf力（包含腕部機構模塊，手指，晶圓的重量）
- 機械手臂標準臂長：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
- Z軸（升降軸）標準長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
- 可根據(jù)設備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
- 可選伯努利方式手指（Option）
對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設計運用自如，降低成本。
*加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規(guī)格
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進電機常見的丟步問題，適用于2寸-300 mm晶圓傳輸?shù)男滦蛦伪蹤C械手臂
應用設備實例
EFEM，PE-CVD設備，AOI設備
規(guī)格
| 被搬運物 | 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓 （其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的定制設計） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節(jié)中心基準） | 340 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
| 精度* | 10.0µm以下 | 0.00515度 | 2.0µm |
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 10A 真空：優(yōu)于-53 kPa | ||
*測試機型：SCR3160CSN-300-CM，使用JEL標準真空吸附式手指
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