詳細(xì)介紹
一、設(shè)備簡(jiǎn)介
本機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。
二、設(shè)備特點(diǎn)
1.機(jī)身結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì),機(jī)架采用龍門(mén)式結(jié)構(gòu),剛性好,承壓能力強(qiáng),能滿足高負(fù)載下高速穩(wěn)定運(yùn)行。
2.電機(jī)均采用變頻電機(jī)且使用變頻調(diào)速器控制,能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作,實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的停止、加速、減速及換向,能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星輪傳動(dòng)采用柱銷齒結(jié)構(gòu),傳動(dòng)平穩(wěn)無(wú)沖擊,游星輪使用壽命長(zhǎng)。
4.上盤(pán)下降過(guò)程中,設(shè)置了快降和緩降,緩降行程在氣缸行程范圍內(nèi)可調(diào),緩降速度也可根據(jù)工件抗沖擊程度自由調(diào)整。
5.本機(jī)通過(guò)精密電氣比例閥調(diào)整控制加工壓力,可根據(jù)不同加工工藝要求,設(shè)定加工壓力,壓力控制精度高。
6.采用*的PLC系統(tǒng),觸摸屏操作面板,所有工藝參數(shù)及工藝配方可在觸摸屏上進(jìn)行修改設(shè)置,可根據(jù)設(shè)定好的工藝參數(shù)自動(dòng)完成整個(gè)加工過(guò)程。
7.齒輪及各運(yùn)動(dòng)部位采用集中潤(rùn)滑裝置,潤(rùn)滑良好,整機(jī)使用壽命長(zhǎng)。
8.上盤(pán)升降設(shè)計(jì)安全裝置,在上盤(pán)升到頂時(shí)能有效的保護(hù)上盤(pán)不突然落下。
質(zhì)量保證及售后服務(wù):
1.質(zhì)保期限:從驗(yàn)收之日起12個(gè)月但不超過(guò)發(fā)貨之日起15個(gè)月。
2.在產(chǎn)品質(zhì)量保證期內(nèi),如出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,買(mǎi)方有權(quán)隨時(shí)要求賣方免費(fèi)維修或更換;如屬買(mǎi)方人員使用不當(dāng)或自行改裝導(dǎo)致設(shè)備不能正常使用,不在保固范圍內(nèi),買(mǎi)方應(yīng)承擔(dān)賣方人員的差旅費(fèi)和材料成本費(fèi)用。
3.易損件不在質(zhì)保范圍內(nèi)。
主要技術(shù)參數(shù):
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
1 | 上研磨盤(pán)尺寸 | Ø1070×Ø500×40(mm) |
2 | 下研磨盤(pán)尺寸 | Ø1070×Ø500×40(mm) |
3 | 游星輪數(shù)量 | 7 |
4 | 工件直徑尺寸 | Ø280(mm) |
5 | 工件厚度 | 0.3-20(mm) |
6 | 下研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速 | 0-60(rmp) |
7 | 加工壓力 | 800Kg |
8 | 主氣缸 | 160×400 |
9 | 下盤(pán)電機(jī) | 7.5Kw |
10 | 上盤(pán)電機(jī) | 5.5Kw |
11 | 砂泵電機(jī) | 250w |
12 | 設(shè)備總功率 | 14Kw |
13 | 外形尺寸 | 1750×1250×2570(mm) |
14 | 設(shè)備質(zhì)量 | ≈3450Kg |
安裝條件:
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 指標(biāo)要求 |
1 | 環(huán)境 | 室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源 |
2 | 水源 | 純水或自來(lái)水 |
3 | 電源 | 三相五線380V |
4 | 壓縮氣源 | 0.6~0.8Mpa |
5 | 溫度 | 0℃-45℃ |
6 | 相對(duì)濕度 | ≤95% |
主要配置:
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 品牌 |
1 | 氣缸 | 亞德客 |
2 | 減速器 | 恒星 |
3 | 軸承 | 哈、瓦、洛 |
4 | 可編程控制器〔PLC〕 | 西門(mén)子 |
5 | 人機(jī)界面 | 昆侖通態(tài) |
6 | 精密電氣比例閥 | 亞德客 |
7 | 電磁閥 | 亞德客 |
8 | 變頻器 | 沃森 |
9 | 低壓電器 | 品牌 |
隨機(jī)備附件及工具:
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) | 備注 |
1 | 工具 | 內(nèi)六角扳手一套,一字/十字螺絲刀各一把,10"活動(dòng)扳手一件 | 每5臺(tái)配1套 |