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    那諾—馬斯特中國(guó)有限公司
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    NSC-4000(M)磁控濺射系統(tǒng)

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地國(guó)外

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2022-12-06 11:12:50瀏覽次數(shù):343次

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    產(chǎn)地 進(jìn)口 售后保修期 12個(gè)月
    銷售區(qū)域 全國(guó)
    NSC-4000(M)磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)8“旋轉(zhuǎn)平臺(tái),可支持4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,J限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。NSC-4000帶有13"鋁質(zhì)腔體,4個(gè)2"的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體

    NSC-4000(M)磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)8"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),可支持4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,J限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-4000帶有13"鋁質(zhì)腔體,4個(gè)2"的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,500 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。


    NSC-4000(M)-1.jpg

    NSC-4000(M)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 不銹鋼,鋁質(zhì)腔體

    • 260或500 l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵

    • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

    • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

    • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

    • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制

    • 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問控制

    • *的安全聯(lián)鎖功能


    NSC-4000(M)選配項(xiàng):

    • 不銹鋼腔體

    • 熱蒸鍍能力

    • RF、DC濺射

    • RF或DC偏壓(1000V)

    • 樣品臺(tái)可加熱到700°C

    • 膜厚監(jiān)測(cè)儀

    • 基片的RF射頻等離子清洗

    • 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片


    NSC-4000(M)應(yīng)用:

    • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆

    • 光學(xué)以及ITO涂覆

    • 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆

    • 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射



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