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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國(guó)外
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更新時(shí)間:2022-11-09 16:12:03瀏覽次數(shù):404次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)NSC-3500(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)
產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 售后保修期 | 12個(gè)月 |
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銷售區(qū)域 | 全國(guó) |
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)8"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),可支持4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,J限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-4000帶有13"鋁質(zhì)腔體,4個(gè)2"的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,500 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
不銹鋼,鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
70,250或500 l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
*的安全聯(lián)鎖
選配項(xiàng):
向上、向下或側(cè)面濺射
RF、DC以及脈沖DC濺射
共濺射、反應(yīng)濺射
組合濺射
RF或DC偏壓(1000V)
樣品臺(tái)可加熱到700°C
膜厚監(jiān)測(cè)儀
基片的RF射頻等離子清洗
預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
應(yīng)用:
晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
光學(xué)以及ITO涂覆
帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
型號(hào):
NSC-4000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng)
NSC-3500:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)
NSC-3000:PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
NSC-1000:半自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
(以下為雙系統(tǒng)型號(hào))
NSR-4000:濺射/RIE系統(tǒng)
NSP-4000:濺射/PECVD系統(tǒng)
NST-4000:濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)
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