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東精精密設(shè)備（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CMP設(shè)備CMP是在IC制造工程中晶圓表面平坦化工藝之一環(huán)，使用化學(xué)研磨劑、研磨墊等，通過(guò)化學(xué)和機(jī)械的復(fù)合作用，對(duì)晶圓表面的凹凸不平進(jìn)行研磨，達(dá)到平坦化要求的設(shè)備

詳細(xì)介紹

CMP設(shè)備

CMP是在IC 制造工程中晶圓表面平坦化工藝之一環(huán)，使用化學(xué)研磨劑、研磨墊等，通過(guò)化學(xué)和機(jī)械的復(fù)合作用，對(duì)晶圓表面的凹凸不平進(jìn)行研磨，達(dá)到平坦化要求的設(shè)備。

ChaMP：小型CMP設(shè)備
半導(dǎo)體器件量產(chǎn)用，搭載了高性能CMP技術(shù)的小型化CMP設(shè)備。

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