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真空機(jī)組GZK-101
1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV
高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV
生長(zhǎng)納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW
快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
微型PECVD系統(tǒng)
鈣鈦礦鍍膜機(jī)
OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜(CSS)爐
GSL-1800X-ZF2蒸發(fā)鍍膜儀
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀
VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀
VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)
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