詳細介紹
特征:
直線度可達10um
X軸zui大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺
良好接地設計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度zui低可達50nm
應用:
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能製造設備
PCB設備
水刀設備
鑽石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設備
工具機
泰州市海陵區(qū)歐菱自動化設備有限公司 |
參考價 | 面議 |
更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù):673
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特征:
直線度可達10um
X軸zui大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺
良好接地設計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度zui低可達50nm
應用:
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
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