機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
特征：
直線度可達(dá)10um
X軸zui大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺
良好接地設(shè)計防止雜訊干擾
Z向震動可達(dá)奈米等級以下
zui大速度可達(dá)5m/s
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度zui低可達(dá)50nm
應(yīng)用：
半導(dǎo)體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能製造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鑽石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設(shè)備
工具機(jī)
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