詳細介紹
特征:
zui大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺
良好接地設(shè)計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度zui低可達50nm
應(yīng)用:
半導體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能製造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鑽石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設(shè)備
工具機
泰州市海陵區(qū)歐菱自動化設(shè)備有限公司 |
參考價 | 面議 |
更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù):764
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特征:
zui大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺
良好接地設(shè)計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度zui低可達50nm
應(yīng)用:
半導體設(shè)備
自動化搬送
FPD設(shè)備
太陽能製造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鑽石切割產(chǎn)業(yè)
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