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    多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)

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    更新時間:2023-10-07 16:32:00瀏覽次數(shù):278次

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    橢偏儀theta-SE多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀
    J.A.Woollam
    橢偏儀
    theta-SE 多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的空間中配備了先進(jìn)的橢偏量測與電控平臺,達(dá)到多點量測wafer的功能,藉此測得多點橢偏參數(shù),與多點的薄膜厚度和折射率數(shù)值。 具有體積小、數(shù)據(jù)快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點,為的多點量測橢偏儀。

    多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點
    • 體積小
    • 數(shù)據(jù)取得快速
    • 非破壞性量測
    • 同時分析厚度,折射率,消光係數(shù)
    • 小光斑橢偏儀
    • 軟體介面容易操作,內(nèi)建模型完整
    • 的多點量測橢偏儀
    • 波長範(fàn)圍400nm to 1000nm,即時分光
    多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)應(yīng)用
    • VCSEL量測
    • 氧化物/氮化物薄膜量測
    • 金屬氧化層量測(較薄可透光的金屬)
    橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)

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