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    VASE高精度薄膜厚度量測儀

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    更新時(shí)間:2023-10-07 16:13:25瀏覽次數(shù):419次

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    J.A.WoollamVASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀,V-VASE系統(tǒng)非接觸式膜厚量測,垂直擺放樣品,移動精度高,量測角度從15-90度,可進(jìn)一步量測樣品穿透率
    J.A.Woollam
    J.A.Woollam VASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀,V-VASE系統(tǒng)非接觸式膜厚量測,垂直擺放樣品,移動精度高,量測角度從15-90度,可進(jìn)一步量測樣品穿透率。
    VASE高精度薄膜厚度量測儀特點(diǎn)
    • 測量靈活:帶有垂直樣品臺的V-VASE,可以適應(yīng)各類測量,包括反射、穿透、散射等。
    • 準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)測量:VASE是結(jié)合自了動相位延遲(AutoRetarder®)技術(shù)的旋轉(zhuǎn)檢偏(RAE)橢偏儀,測量精準(zhǔn)。
    • 高精度的波長選擇:HS-190掃描式單色儀是為光譜橢偏術(shù)專門設(shè)計(jì)的。在自動控制波長選擇及光譜分辨率時(shí),它可以優(yōu)化速度、波長準(zhǔn)確性及光輸出。
    VASE高精度薄膜厚度量測儀 應(yīng)用
    • VCSEL量測
    VASE高精度薄膜厚度量測儀

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