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詳細(xì)摘要： 對晶圓、FPD用玻璃基板等表面形狀進(jìn)行高精度測量。采用高剛性高精度氣座，可對晶圓、FPD用玻璃基板、大形陶瓷平板、精密工作臺等大形構(gòu)件的表面形狀進(jìn)行高精度測量。...

詳細(xì)摘要： 對陶瓷板等平面度進(jìn)行高精度測量搭載旋轉(zhuǎn)氣動臺，可測量晶圓拋光用陶瓷板、研磨臺等φ1000mm的圓盤表面形狀。配備有詳細(xì)評價用同心圓測量、粗略評價用放射狀測量等各...

詳細(xì)摘要： 同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)最小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精...

詳細(xì)摘要： “讓看不見的世界變成看得見"我公司開發(fā)的“超精密平面度測量裝置　SF-640M"，是對精密平面磨床加工的模具等工件進(jìn)行精度評價的系統(tǒng)。本機運用了我公司硅晶圓用超...