機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
特點(diǎn)
高精度運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)！
采用高精度氣動(dòng)滑座、線性伺服馬達(dá)等黑田超精密加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高水平的平面度測(cè)量。
操作簡(jiǎn)單，顯示和解析功能豐富！
為了對(duì)測(cè)量結(jié)果做出的評(píng)價(jià)，運(yùn)用在NANOMETRO®系列銷售業(yè)績(jī)中積累的經(jīng)驗(yàn)，配備了我公司自行開發(fā)的各種顯示和解析軟件。
可對(duì)各種工件進(jìn)行評(píng)價(jià)！
支持金屬、陶瓷、玻璃、各種晶圓等各種工件。測(cè)頭采用可根據(jù)客戶所要求的評(píng)價(jià)項(xiàng)目和精度進(jìn)行更換的設(shè)計(jì)，可對(duì)測(cè)定對(duì)象做出的評(píng)價(jià)。
安全性、操作性和高精度兼?zhèn)洌钏际鞈]的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)！
配備大小2種測(cè)量工件拆裝門，以保證安全性，同時(shí)可用起重機(jī)等設(shè)備裝載工件，在設(shè)計(jì)中注重操作性。此外，通過將測(cè)量中的外部干擾影響控制在限度和將產(chǎn)生熱量的電氣裝配部件分離，實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)量。
外觀形狀
性能、規(guī)格
| 項(xiàng)目 | SF-640M | |
|---|---|---|
| 量程 (X × Y） | 650mm × 450mm | |
| 綜合測(cè)量精度 | 0.6μm (※1) | |
| 重復(fù)精度 | 0.1μm (※2) | |
| 顯示分辨率 | 0.01μm | |
| 測(cè)頭 | 非接觸激光位移計(jì)、電子千分尺 | |
| 最小數(shù)據(jù)周期 | 1μm | |
| 測(cè)量速度 | 0.5 ～ 50mm/sec | |
| 軸、導(dǎo)軌 | 陶瓷制氣動(dòng)導(dǎo)軌 | |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | X軸：線性馬達(dá) Y軸：伺服馬達(dá) | |
| 工件重量 | 40kg | |
| 外觀尺寸 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
| 主體的重量 | 1000kg | |
| 適用電源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
| 適用壓縮空氣 | 潔凈干燥空氣 0.5MPa | |
| 空気流量 | 100L/min (ANR) | |
| 工件高 | 50mm | |
| 設(shè)置環(huán)境 | 室溫：20oC ～ 25oC（波動(dòng)在1oC以下） 地面承重強(qiáng)度：耐荷載9800N/m2以上 | |
※1 平晶測(cè)量時(shí)的全面PV值
※2 重復(fù)平晶測(cè)量10次時(shí)的全面PV值的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ
關(guān)于樣品測(cè)量
我公司隨時(shí)承接樣品測(cè)量。有需求的客戶請(qǐng)使用下方的“垂詢表"進(jìn)行垂詢。
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