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更新時間:2022-12-08 14:09:20瀏覽次數(shù):365次
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NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NTE-4000是一款PC計算機(jī)控制的臺式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程。它們具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NTE-4000(M)蒸發(fā)系統(tǒng)是一個臺式系統(tǒng),跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個共同的平臺;比如:櫥柜,腔體,真空系統(tǒng),計算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的。*的區(qū)別是一個使用磁控管,另一個使用加熱坩堝. 因此,在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,比如:樣品臺的加熱,旋轉(zhuǎn),偏斜;涂覆前的等離子清洗,膜厚監(jiān)測,序列或同時操作多源;鐘罩、鋁或不銹鋼腔體;預(yù)真空鎖以及自動裝片/取片系統(tǒng)等。
NTE-4000跟NSC-4000很像, 除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定。因為有許多的共同點,我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-4000),具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過計算機(jī)控制系統(tǒng),我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù),而無須中斷真空。
Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大du特優(yōu)s是持續(xù)性地控制加熱器電流,而不是震蕩式控制加熱器。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路,這點跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同。在該系統(tǒng)中,電流或者RMS值的持續(xù)時間被控制。用戶可以選擇一個設(shè)定值,它實際上是設(shè)定交流電半周期的部分,會出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,系統(tǒng)可以實現(xiàn)較精確快速的電流控制,這使得閉環(huán)溫度控制就可以實現(xiàn)。此外,電流控制以及溫度控制,可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求,無論是對有機(jī)材料還是對金屬。我們測量坩堝TB的RMS電壓,RMS電流,和溫度,并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度。空坩堝的加熱實驗結(jié)果如下圖所示,這些加熱實驗結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測量。
通過以上的溫度與電流的關(guān)系,我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度,溫度可以通過熱電偶來測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時間的常量將會發(fā)生變化,然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測量值之間的關(guān)系將不會變化。因此,我們的技術(shù)可以實現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料,甚至不受線電壓值的影響。
NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品特點:
至大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
沉積速度可控
旋轉(zhuǎn)的樣品臺
雙坩堝
2KVA SRC控制電源
晶振式膜厚監(jiān)控儀
通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機(jī)控制
相似產(chǎn)品型號:
NTE-4000 基于PC計算機(jī)全自動控制的獨立系統(tǒng)
NTE-3500 基于PC計算機(jī)全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
NTE-3000 基于PC計算機(jī)全自動控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)
NTE-1000 計算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)
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