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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國(guó)外
聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-11-09 16:11:37瀏覽次數(shù)：304次
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| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 售后保修期 | 12個(gè)月 |
|---|---|---|---|
| 銷售區(qū)域 | 全國(guó) |
NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng)概述：如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物，這些金屬的刻蝕無(wú)法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過(guò)加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的。通常情況下，樣品表面采用厚膠作為掩模層，刻蝕期間富有能量的離子流會(huì)使得基片和光刻膠過(guò)熱。除非可以找到有效的方式消除熱量，否則光刻膠將變得非常難以去除。NANO-MASTER技術(shù)已經(jīng)證明了可以把基片溫度控制在50° C以內(nèi)的同時(shí)，旋轉(zhuǎn)晶圓片以達(dá)到想要的均勻度。
NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
14.5"不銹鋼立體離子束腔體
16cm DC離子槍1000eV,500mA, 氣動(dòng)不銹鋼遮板
離子束中和器
氬氣MFC
6"水冷樣品臺(tái)
晶片旋轉(zhuǎn)速度3、10RPM，真空步進(jìn)電機(jī)
步進(jìn)電機(jī)控制晶圓片傾斜
手動(dòng)或自動(dòng)上下載晶圓片
典型刻蝕速率：銅200 ?/min, 硅：500 ?/min
6"范圍內(nèi)，刻蝕均勻度+/-3%
J限真空5x10-7Torr，20分鐘內(nèi)可達(dá)到10-6Torr級(jí)別（配套500 l/s渦輪分子泵）
配套1000 l/s渦輪分子泵，J限真空可達(dá)8x10-8Torr
磁控濺射Si3N4以保護(hù)被刻蝕金屬表面被氧化
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)
完整的安全聯(lián)鎖
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