www.467cc.cn-无人在线观看高清电影电视剧,无码少妇一区二区三区免费,午夜福利视频,欧美爆乳乱妇高清免费888

<sup id="a8eos"><samp id="a8eos"></samp></sup>
  • <strike id="a8eos"></strike>
  • <strike id="a8eos"><menu id="a8eos"></menu></strike>
  • <fieldset id="a8eos"><input id="a8eos"></input></fieldset>
  • <fieldset id="a8eos"><input id="a8eos"></input></fieldset>
    那諾—馬斯特中國有限公司
    免費會員

    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機

    參  考  價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地國外

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時間:2022-11-18 14:24:17瀏覽次數(shù):762次

    聯(lián)系我時,請告知來自 機床商務(wù)網(wǎng)
    同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
    產(chǎn)地 進口 售后保修期 12個月
    銷售區(qū)域 全國
    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機概述:是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實現(xiàn)范圍廣泛的刻蝕工藝,包括刻蝕III-V化合物(如GaAs,InP,GaN,InSb)、II-VI化合物、介質(zhì)材料、玻璃、石英、金屬,以及硅和硅的化合物(如SiO2、Si3N4、SiC、SiGe)等。


    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機概述:是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實現(xiàn)范圍廣泛的刻蝕工藝,包括刻蝕III-V化合物(如GaAs,InP,GaN,InSb)、II-VI化合物、介質(zhì)材料、玻璃、石英、金屬,以及硅和硅的化合物(如SiO2、Si3N4、SiC、SiGe)等。


    NRE-4000(ICPM).png


    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機主要特點:

    • 基于PC控制的立柜式百級ICP-RIE刻蝕系統(tǒng),擁有快速的刻蝕能力;

    • 配套Lab View軟件,菜單驅(qū)動,自動記錄數(shù)據(jù);

    • 觸摸屏監(jiān)控;

    • 全自動系統(tǒng),帶安全聯(lián)鎖;

    • 四級權(quán)限,帶密碼保護;

    • 手動上下載片;

    • 可以支持ICP和RIE兩種刻蝕模式;

    • 實時顯示真空、功率、反射功率圖表,以及流量實時顯示;


    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機配置內(nèi)容:

    • 外觀尺寸:緊湊型立柜式設(shè)計,不銹鋼腔體,外觀尺寸為44"(W) x 26"(L) x62"(H);

    • 等離子源:NM-ICP平面電感耦合等離子體源,帶有自動調(diào)諧器,激活面積可以達到8";

    • 處理腔體:13"的圓柱形超凈腔體,材質(zhì)為陽J電鍍鋁。晶片通過氣動頂蓋裝載,腔體帶有上載安全鎖,用戶可以通過PC控制,至多可以裝載8個小尺寸基片,可支持的晶圓尺寸為8"。腔體帶有2"的觀察窗口。腔體頂部的噴嘴式氣流分配裝置,提供8"區(qū)域的氣體均勻分布。系統(tǒng)帶暗區(qū)保護。

    • 樣品臺:6"的托盤夾具,能夠支持6"的Wafer。可以冷卻到-120攝氏度(包含LN2循環(huán)水冷系統(tǒng)),并采用He氣實現(xiàn)背部冷卻和自動鎖緊,微精細地控制He氣流量,包含氣動截止閥;

    • 流量控制:支持6個或更多的MFC’s 用于ICP高速刻蝕,帶氣動截止閥,所有的慢/快通道采用電磁閥和氣動閥控制,電拋光的不銹鋼氣體管路帶有VCR和VCO(壓控振蕩器)配件,所有導管以盡可能短的導軌密封設(shè)計,從而減低空間浪費并達到快速的氣路切換。所有處理氣體的管路在處理結(jié)束后,采用N2自動沖洗。

    • 真空系統(tǒng):泵組包含渦輪分子泵和旋葉真空泵。

    • RF電源:13.56MHz,帶自動調(diào)諧功能的1200W射頻電源,作為ICP源。另外,帶自動調(diào)諧功能的600W射頻電源用于基臺偏壓。

    • 操作控制:整個系統(tǒng)通過預裝的Lab View軟件和觸摸監(jiān)控系統(tǒng),實現(xiàn)PC全自動控制。MFC,閥和頂蓋都是氣動式的,都可PC控制。系統(tǒng)的實時壓力和直流自偏壓以圖表格式顯示,而流量和功率則以字母數(shù)字形式顯示。系統(tǒng)提供密碼和安全連鎖機制的四級權(quán)限控制。


    NRE-4000(ICPM)ICP刻蝕機應用領(lǐng)域:

    • LED

    • MEMS

    • 光柵

    • 激光器

    • 微光學

    • 聲光器件

    • 高頻器件/功率器件

    • 量子器件

    • 光子晶體

    • 探測器等



    會員登錄

    ×

    請輸入賬號

    請輸入密碼

    =

    請輸驗證碼

    收藏該商鋪

    X
    該信息已收藏!
    標簽:
    保存成功

    (空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

    常用:

    提示

    X
    您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
    在線留言
    麻花星空影视传媒制作公司| 亚洲精品无码久久久久苍井空| 欧美人与性囗牲恔配| A毛片免费| 色一情一区二区三区四区| 久久综合久久美利坚合众国| 亚洲无码高清视频在线观看| 国产乱码一区二区三区| 久夂少妇人妻嫩草Av无码专区一| 久久久精品妓女影院妓女网|