詳細(xì)介紹
具有高擴(kuò)展性,可以滿足各種加工需求
- Φ300 mm
- 單主軸
廣泛的產(chǎn)品應(yīng)用
DAD3361是對(duì)應(yīng)直徑300 mm加工物※的半自動(dòng)切割機(jī)。標(biāo)準(zhǔn)搭載1.8 kW高功率主軸。選用高轉(zhuǎn)矩?高剛性的2.2 kW主軸(選配)、可對(duì)應(yīng)從硅到陶瓷等難切割材料的加工。可選用對(duì)應(yīng)5英寸刀片的特殊規(guī)格。除此以外,還可選配 一張膠膜框架上粘貼多片加工物的校準(zhǔn)功能。
※ 可特殊搭載外接圓直徑395 mm之內(nèi)的治具工作臺(tái)
穩(wěn)定的加工品質(zhì)
采用高剛性門型結(jié)構(gòu)以及有效地抑制熱伸縮和振動(dòng)的主軸前端支撐結(jié)構(gòu),提供更穩(wěn)定的加工點(diǎn)。并且,搭載了主軸溫度傳感器的溫度監(jiān)測(cè)功能。
縮短加工時(shí)間
X,Y,Z全軸采用伺服馬達(dá),不僅提高了軸速,而且達(dá)到了化的控制參數(shù)。因此,和以往機(jī)種相比縮短了約2%的加工時(shí)間。
提高生產(chǎn)效率
新型非接觸式測(cè)高功能(Non-Contact Setup/ 選配),對(duì)工作臺(tái)的刀片測(cè)高時(shí)間縮短了74%。因?yàn)樘岣吡藴y(cè)量精度,使加工品質(zhì)更加穩(wěn)定。除此之外,顯微鏡環(huán)形照明的開燈方向可以切換3種模式,提高了切痕檢測(cè)的識(shí)別率。可對(duì)應(yīng)SECS/GEM通信系統(tǒng)。
操作簡(jiǎn)便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動(dòng)機(jī)型相同,以圖示顯示切割的進(jìn)度狀態(tài) - Log viewer
以圖示表示類比數(shù)據(jù),可視化切割參數(shù) - Help viewer
異常發(fā)生時(shí)顯示對(duì)應(yīng)措施,有助于迅速切實(shí)地恢復(fù)設(shè)備狀態(tài)
簡(jiǎn)便的保養(yǎng)特性
- 增強(qiáng)了X, Y和Z軸的防塵性能
對(duì)陶瓷等切屑容易損傷主軸的材料更為有效
對(duì)應(yīng)多片粘貼
可將多片封裝基板粘貼在1個(gè)膠膜框架上進(jìn)行加工(最多可對(duì)應(yīng)16片)。
測(cè)長(zhǎng)校準(zhǔn)
對(duì)于樹脂基板等會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則伸縮的材質(zhì),通過多點(diǎn)校準(zhǔn),可實(shí)現(xiàn)高精度的加工。
Specifications
Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Optional *) | 2.2 kW High torque (optional) | |
---|---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | - | Φ300 mm (280 mm × 280 mm user-specified specification) | |||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | |||
Y-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Index step | mm | 0.0001 | |||
Index positioning accuracy | mm | 0.002/310 (Single error) 0.002/5 | |||
Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ-axis rotation specification (optional) | ||
Spindle | output | kW | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 |
Rated torque | N?m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000 | 3,000 ~ 30,000 | 3,000 ~ 15,000 | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
Machine weight | kg | Approx. 1,100 |
※ 為了改善,機(jī)器的外觀,特征,規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件,請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |