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詳細介紹
并列式雙主軸全自動切割機
- Φ200 mm
- 并列式雙主軸
- Package Singulation
迪思科公司*的并列式雙主軸結(jié)構(gòu)
DFD6450是2主軸平行設置的并列式雙主軸全自動切割機。即傳承了以往機型（DFD651）的基本加工理念，又是具有良好的操作性，高質(zhì)量加工的 DFD6000系列的新機型。適用于硅以及化合物半導體等半導體元器件，陶瓷等電子元器件，玻璃等光學零部件的切割/開槽等各種工藝的加工。并列式雙主軸結(jié)構(gòu)是迪思科公司*的技術(shù)，因為采用了后部主軸支撐，所以主軸前部預留的空間較大，便于切割刀片的更換以及維護保養(yǎng)。另外，還適用于封裝基板的多刀切割加工等特殊的應用領(lǐng)域。
提高操作便利性
通過搭載15英寸LCD觸摸屏及圖形用戶接口GUI（Graphical User Interface），提高了操縱性。為了提高更換切割刀片時的操作效率，采用了自動主軸鎖定機構(gòu)。除此之外，搭載了切割水流量監(jiān)視功能，可以按照不同的加工參數(shù)，分別設定切割水的流量。
主軸陣容
可以根據(jù)圓晶和加工應用的需要，從多個主軸中選擇的主軸。
- 【標準主軸】
1.0 kW空氣主軸
（適用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.16 N?m） - 【選用主軸】
1.0 kW高扭矩空氣主軸
（適用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.24 N?m）
2.2 kW空氣主軸
（適用于3英寸切割刀片，扭矩: 0.7 N?m）
充實的選配項目
在維持與以往機型相同占地面積的前提下，通過改進設備的布局，實現(xiàn)內(nèi)置變壓器，UPS（緊急供電裝置）、CO2 Injector和升壓泵。另外也可以選擇在清洗加工物時可高效發(fā)揮清洗效果的離心清洗部位水氣二流體清洗機構(gòu)（技術(shù)第3410385號），以及防止搬運晶圓時產(chǎn)生靜電的負離子發(fā)生器（ionizer）。
加工物流程系統(tǒng)
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預校準臺進行中心定位作業(yè)后，搬運到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物送回晶圓盒內(nèi)
Specifications
| Specification | Unit | 1.0 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 250 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1-axis | Cutting range | mm | 250 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/250 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Y2-axis | Cutting range | mm | 30 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/30 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 35.2 | |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated output | kW | 1.0 | 2.2 |
| Rated torque | N?m | 0.16, 0.24 (higher torque) | 0.7 | |
| Revolution speed range | min-1 | 6,000 ～ 60,000? 3,000 ～ 40,000 (higher torque) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,120 x 1,500 x 1,600 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,400 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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