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詳細介紹
小型化切割機的進化機型
- Φ150 mm
- 單主軸
對應小口徑加工物的各種加工需求
可對應直徑6英寸，特殊選配可對應150 mm方形加工物的單軸切割機。 寬度為490 mm、長度為870 mm的節(jié)省空間的設計，實現(xiàn)了小的占地面積※ 。高轉矩2.0 kW的主軸為標準配置，也可選配高轉速1.8 kW的主軸。
※ DISCO調查
提高生産效率
采用了高性能的MCU來提升軟件運作速度及操作反應速度，X，Y，Z軸全部采用伺服電機、以提高軸的速度和生產效率。標準配置的PC ，通過選配功能可對應通信控制系統(tǒng)。和以往機種相同，標準配置的自動校準，自動對焦，自動檢測切割槽等影像識別系統(tǒng)，可以地減少操作員的工作時間。
提高生產效率
新型非接觸式測高功能（Non-Contact Setup/ 選配），比較于對工作臺的刀片測高時間縮短了74％。而且因測量精度的提高使加工品質更加穩(wěn)定。除此之外，顯微鏡環(huán)形照明的開燈方向可以切換3種模式，提高了切痕檢測的識別率。還可對應SECS/GEM通信系統(tǒng)。
操作簡便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁面 - Wafer mapping
與全自動機型相同，以圖示顯示切割的進度狀態(tài) - Log viewer
以圖示顯示類比數(shù)據(jù)，切割參數(shù)的可視化 - Help viewer
異常發(fā)生時顯示對應措施，有助于迅速切實地恢復設備狀態(tài) - 自動校準，自動對焦，自動刀痕檢測
Specifications
| Specification | Unit | 2.0 kW | 1.8 kW (option) | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ6 inch (150 mm × 150mm user-specified specification) | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 160 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1～800 | ||
| Y-axis | Cutting range | mm | 162 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Index positioning accuracy | mm | 0.005/160 (Single error) 0.003/5 | ||
| Y-axis scale (option) 0.002/160 (Single error) 0.001/5 | ||||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2（Φ2 inch blades） | |
| Moving resolution | mm | 0.000002 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 | |
| Spindle | Layout | - | Single | |
| Rated output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 | 1.8 at 60,000 min-1 | |
| Rated torque | N?m | 0.48 | 0.29 | |
| Revolution speed range | min-1 | 3,000 ～ 40,000 | 6,000 ～ 60,000 | |
| Machine dimensions（W × D × H） | mm | 490 × 870 × 1,670 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 420 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
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