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詳細(xì)介紹
兼顧小的占地面積和功能性，針對6英寸加工物的小型化切割機
- Φ150 mm
- 單主軸
對應(yīng)小口徑加工物的各種加工需求
標(biāo)準(zhǔn)搭載高轉(zhuǎn)矩2.0 kW主軸，對應(yīng)6英寸加工物，特殊選配時可對應(yīng)150 mm方形加工物的單軸切割機
高生產(chǎn)效率
采用高性能的MCU來提升軟件運作速度及操作反應(yīng)速度，X，Y，Z軸全部采用伺服電機，以提高軸的速度和生產(chǎn)效率。標(biāo)準(zhǔn)配置的PC ，通過選配功能可對應(yīng)通信控制系統(tǒng)。除此之外，采用新型NCS(Non-Contact Setup)以提高測量精度和縮短測量時間。
| 以往機型(DAD322) | DAD324 | |
|---|---|---|
| X軸 | 500 | 800 |
| Y軸 | 150 | 200 |
| Z軸 | 30 | 80 |
mm/s
小※的占地面積
寬度僅為490 mm的緊湊設(shè)計，特別是將數(shù)臺切割機并列運行時,對提高單位面積的生産效率有重大的意義
※ DISCO調(diào)查
操作簡便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡界面 - Wafer mapping
與全自動機型相同，以圖示顯示切割的進度狀態(tài) - Log viewer
以圖示顯示類比數(shù)據(jù)，并可視化切割參數(shù) - Help viewer
顯示異常發(fā)生時的對應(yīng)措施，有助于迅速切實地恢復(fù)設(shè)備狀態(tài) - 自動校準(zhǔn)
- 自動對焦
- 自動刀痕檢測
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ6 inch/150 × 150 mm (user-specified specification) | |
| X-axis | Cutting range | mm | 160 |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 - 800 | |
| Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
| Index step | mm | 0.0001 | |
| Index positioning accuracy | mm | 0.005/160 (Single error)0.003/5 | |
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2 |
| Moving resolution | mm | 0.000002(2 nm) | |
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
| Spindle | Output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
| Rated torque | N?m | 0.48 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 3,000 - 40,000 | |
| Machine dimensions（W × D × H） | mm | 490 × 870 × 1,670 | |
| Machine weight | kg | Approx. 420 | |
※ 此機種標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)刀片外徑為55.56 mm，最厚為1.2 mm厚度的加工物。
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 | 半自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
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