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詳細介紹
追求生產(chǎn)效率的Φ300 mm的切割機
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
提高生產(chǎn)效率
通過縮短刀片主軸的間距，實現(xiàn)了高速的雙刀切割加工。另外，通過改善主軸結構提高了X軸加工時的返回速度，并且通過優(yōu)化零部件提高了主要搬運部的速度。因此，在相同條件下與以往機型相比，生產(chǎn)效率提高了約7％。
提高了*清潔的能力
對加工點附近的水流進行了分析，新設置了有效地防止微粒附著的刀架罩。而且，可以根據(jù)圓晶的特性，選配工作臺水簾（ CTWC ）或者切割部水氣二流體噴嘴。
自動更換切割刀片※(ABC)
自動進行因更換圓晶/刀片壽命結束/發(fā)生刀片破損等情況時所需的刀片更換，預切割和重新開始切割等一系列的動作，減輕了操作人員的作業(yè)負擔。在約60秒可完成兩個軸的刀片更換，大幅度地減少了設備的停機時間。因為設備在進行刀片更換時需讀取刀片背面條形碼中的刀片品種等信息，所以可防止安裝錯誤刀片等人為失誤。
※ 選配
升級版圖形化操作軟件
通過在與顯微鏡影像相同的畫面上的操作按鈕，使目標識別等作業(yè)更為便利。另外，利用圖形化表示設備的狀態(tài)，可以更清楚地顯示設備的運作狀況。
加工物流程系統(tǒng)
- 下取物手臂將加工物從晶圓盒中取出，在預校準臺進行中心定位作業(yè)后，搬運到工作臺 → 切割 →
- 上取物手臂將加工物從工作臺搬運到離心清洗臺 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂將加工物放回到晶圓盒內(nèi)
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW, High-speed rotation | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1?Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N?m | 0.19（1.2 kW/High-speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000(High-speed rotation) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,050 | ||
※ 為了改善，機器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預先通知用戶的情況下實施變更。
※ 機器的使用條件，請先確認標準規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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