真空等離子技術(shù)參數(shù)：

一、等離子體清洗原理和作用

等離子清洗機(jī)原理：表面清洗和活化。等離子體中包括原子、分子、離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)原子、活化的分子及自由基，這些粒子的能量和活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，能與任何暴露的物體表面引起化學(xué)反應(yīng)，讓化學(xué)鍵被打開并結(jié)合上改性原子等高活性的物質(zhì)，使得材料表面親水性得到極大提高，同時對材料表面的油污等有機(jī)大分子新的化學(xué)反應(yīng)，生成氣態(tài)小分子，例如二氧化碳，水氣等，從而達(dá)到對材料表面分子級別的清洗。

運(yùn)用等離子體的特殊化學(xué)物理特性，等離子清洗設(shè)備的主要用途如下：

1.去除灰塵和油污、去靜電；

2.提高表面浸潤功能，形成活化表面；

3.提高表面附著能力、提高表面粘接的可靠性和持久性；

4.刻蝕物的處理作用。