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OSMS西格瑪光機XYZ三軸自動滑臺位移臺是一款適用于高剛性高精度的測量裝置或檢查裝置用步進電機型自動平臺，軌道斷面為U字形，自重輕，剛性好。

西格瑪光機XY軸精密自動滑臺，搭配5相步進電機（CE）、精密滾珠絲杠和精密十字交叉滾柱導(dǎo)軌的高精度XY軸位移臺。和3軸平臺控制器HSC-103配合使用、和以前的...

西格瑪光機5相步進電機光柵尺型自動滑臺，(TSDM)由作為位置基準（刻度）的光柵尺，和解讀其刻度獲得位置信息的信號處理部組成。

西格瑪光機內(nèi)置小型光柵尺自動滑臺，需要和平臺控制器（SHOT-302GS/304GSHIT-MHIT-S）配合使用,可實現(xiàn)高精度，高可靠性的全閉環(huán)控制。