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西格瑪光機5相步進電機光柵尺型自動滑臺，(TSDM)由作為位置基準（刻度）的光柵尺，和解讀其刻度獲得位置信息的信號處理部組成。
西格瑪光機內(nèi)置小型光柵尺自動滑臺，需要和平臺控制器（SHOT-302GS/304GSHIT-MHIT-S）配合使用,可實現(xiàn)高精度，高可靠性的全閉環(huán)控制。
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