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    沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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    VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌 沈陽(yáng)科晶/KEJING

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地

    聯(lián)系方式:張先生查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2021-03-15 16:56:10瀏覽次數(shù):247次

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    VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介 VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。系統(tǒng)配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究薄膜電池、固態(tài)電解質(zhì)及OLED等,與普通磁控濺射相比可以做Li靶材及鋰基材料靶材的鍍膜實(shí)驗(yàn),是新能源行業(yè)實(shí)驗(yàn)室鍍膜實(shí)驗(yàn)的理想設(shè)備

     

    產(chǎn)品名稱

    VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

    主要特點(diǎn)

    1、配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換)。

    2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

    3、體積小,操作簡(jiǎn)便。

    4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。

    5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,也可多個(gè)電源單一控制靶槍(選配)。

    6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。

    技術(shù)參數(shù)

    三靶磁控濺射部分

    1、電源電壓:220V  50Hz

    2、總功率:2.5KW

    3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar)

    4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)

    5、靶槍數(shù)量:3個(gè)

    6、靶槍冷卻方式:水冷

    7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

    8、濺射電源功率:300W(射頻)/500W(直流)

    9、載樣臺(tái):Ø140mm

    10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

    11、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體

    12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM

    手套箱部分

    1、電源:?jiǎn)蜗郃C110V-220V  50Hz/60Hz

    2、殼體材料:304不銹鋼

    3、手套箱腔體:1220mm×760mm×900mm

    4、前級(jí)室:設(shè)有2個(gè)前級(jí)室,大前級(jí)室Ø360mm×600mm,小前級(jí)室Ø150mm×300mm

    5、腔體環(huán)境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm)

    6、工作氣體:N2、Ar、He等惰性氣體

    7、控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體

    8、還原氣體:工作氣體和H2的混合氣(如果凈化系統(tǒng)只有除水功能,還原氣體與工作氣體相同)

    9、氣體凈化系統(tǒng):德國(guó)BASF除氧材料、美國(guó)UOP高效吸水材料,凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制,自動(dòng)除水、 除氧功能,可*、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm

    10、壓力控制系統(tǒng):腔體氣壓可通過(guò)PLC觸摸屏自動(dòng)控制,控制精度為±1Pa,也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制

    11、過(guò)濾系統(tǒng):進(jìn)、出氣端都裝有過(guò)濾器,過(guò)濾精度為0.3μm

    12、控制系統(tǒng):SIEMENS彩色觸摸屏(6寸),PLC控制系統(tǒng),中英文雙語(yǔ)可切換;

     

    水探頭采用美國(guó)GE品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;

    氧變送器采用美國(guó)AII品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;

    壓力傳感儀采用美國(guó)setra品牌,-2500-2500Pa觸摸屏顯示,精度±1Pa;

    13、真空泵:采用英國(guó)EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h

    14、手套:美國(guó)NORTH品牌丁基合成橡膠

    15、照明系統(tǒng):飛利浦品牌熒光燈管

    產(chǎn)品規(guī)格

    三靶磁控濺射部分:950mm×460mm×810mm

    手套箱部分:2300mm×1500mm×1900mm

     

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