Verifire? Asphere?激光干涉儀在ZYGO工業(yè)級Metropro軟件平臺上運行。除了具有測量非球面的能力，還能作為平面、非球面和曲率半徑測量的立體終端。Verifire? Asphere?激光干涉儀*的軟件功能對五軸電動樣品臺的控制能夠對非球面進行快速方便的調整。被測件的自動調整和數據自動采集和分析等功能使Verifire? Asphere系統(tǒng)成為用戶理想的產品測量解決方案。

Verifire? Asphere?非球面檢測激光干涉儀 - ZYGO技術的上乘結合
快速，非接觸，高精度的非球面3D測量激光干涉儀Verifire? Asphere – 運用磚利的非接觸干涉技術，在生產和質量控制中，對非球面進行高精度、定量、三維的表面形貌測量。 基于ZYGO的兩個核心技術和磚利的多域測量方式，開發(fā)出的系統(tǒng)可以對非球面進行高精度的測量。系統(tǒng)中多個方向軸均為電動控制，能夠實現自動調整、自動采集數據和自動進行數據分析，*后得到快速、高精度、定量的非球面面形測量。
Verifire? Asphere系統(tǒng)是由Verifire? AT斐索型激光干涉儀和ZMI510位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個軸跟蹤被測件沿著光軸方向的運動，并且每2.5nm掃描一次，Verifire? AT斐索型激光干涉儀上的高分辨率1K×1K CCD使得每次掃描得到高于70萬個數據點。Verifire? AT主機如果配備Ring of Fire?擴展光源，則表現出更高精度的干涉測量能力。根據被測件的直徑大小，Verifire? Asphere系統(tǒng)可以配置4英寸或6英寸的Verifire? AT索菲型激光干涉儀主機。