干涉計(jì)量與工業(yè)自動(dòng)化制造-技術(shù)文章-上海浦量元精密機(jī)電有限公司

技術(shù)文章

閱讀：396 發(fā)布時(shí)間：2021-9-2

計(jì)量方案的測(cè)試效率，是現(xiàn)代精密制造的關(guān)鍵要求。基于檢測(cè)量的要求，更高的檢測(cè)效率意味著更少的計(jì)量設(shè)備，從而降低了成本。

計(jì)量方案的智能化，自動(dòng)化，是提高檢測(cè)效率的關(guān)鍵。要實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，智能化檢測(cè)，需要基于硬件和軟件一體化解決方案。

讓我們看一個(gè)實(shí)例吧，鈹鏡制造商-劍橋科技（Precision Berylliummirror manufacturer, Cambridge Technology）與ZYGO一起開發(fā)的基于Mx™ 軟件的自動(dòng)化智能檢測(cè)方案。

立式激光干涉儀，用于工業(yè)制造現(xiàn)場(chǎng)

劍橋科技制造的光學(xué)器件，基于不同的應(yīng)用，需要不同的測(cè)試配置，如選定不同的測(cè)試區(qū)域 (mask)等等。這造成測(cè)試過程需要大量的手工操作，消耗了時(shí)間，還會(huì)有一定設(shè)置錯(cuò)誤風(fēng)險(xiǎn)。

這些高精度器件的制造，對(duì)于測(cè)試數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)處理及智能分析也提出了更高的要求。

ZYGOMx™軟件，內(nèi)置基于Python語言的腳本工具，支持可編程智能自動(dòng)化控制。支持自定義腳本編程，自動(dòng)完成對(duì)準(zhǔn)樣品，采樣，分析數(shù)據(jù)，并自動(dòng)上傳結(jié)果。

劍橋科技使用ZYGO菲索式激光干涉儀，測(cè)量鈹鏡表面面形；基于不同的加工階段，不同的應(yīng)用場(chǎng)景，需要設(shè)置不同的測(cè)試配置。這使得技術(shù)人員要幾乎要為每一次測(cè)量，手工設(shè)置，耗時(shí)且容易出錯(cuò)。

ZYGO為劍橋科技基于Python腳本，定制了軟件界面。通過從下拉菜單中選擇部件號(hào)P/N，Mx™軟件自動(dòng)為每個(gè)零件加載正確的測(cè)試設(shè)置，包括測(cè)試區(qū)域(mask)和公差(tolerance)等等。這意味著測(cè)量速度更快，更加可靠。

如果當(dāng)前測(cè)量結(jié)果未能滿足應(yīng)用需求，軟件可以智能分析，并建議用于其它應(yīng)用，得到確認(rèn)后可以調(diào)取對(duì)應(yīng)配置重新測(cè)量。智能化的檢測(cè)可以*大程度提高良品率。

基于ZYGO的Mx™軟件和Python腳本，測(cè)試數(shù)據(jù)可以自動(dòng)上傳；劍橋科技現(xiàn)在建立了它所有制造部件的數(shù)據(jù)庫。

對(duì)應(yīng)不同應(yīng)用的測(cè)試配置，生產(chǎn)工程師可以總部遠(yuǎn)程調(diào)整。劍橋科技可以統(tǒng)一控制不同地點(diǎn)各個(gè)ZYGO干涉儀的測(cè)試配置，這就消除了測(cè)量方法差異。

ZYGO的Mx™軟件, 其實(shí)是一個(gè)用戶可自動(dòng)化編程的平臺(tái)。

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