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當(dāng)前位置：萊特萊德（上海）水處理設(shè)備有限公司>>水處理設(shè)備>>超純水設(shè)備>> LTLD工業(yè)超純水設(shè)備 光伏半導(dǎo)體
產(chǎn)品型號LTLD
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地上海市
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更新時間：2023-01-29 11:07:13瀏覽次數(shù)：607次
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| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 類型 | 其他純化設(shè)備 |
|---|
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在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，硼是一種P型雜質(zhì)。過量會使N型硅反轉(zhuǎn)，從而影響電子和空穴的濃度。因此，在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南(ASTM-D5127-13)要求硼離子≤ 0.05 in e1.3μg/L。如果硼離子含量能夠達到較低的指標(biāo)，則必然會改善半導(dǎo)體的性能。
半導(dǎo)體超純水工藝中Huncotte系統(tǒng)選用核級樹脂，可通過靶向離子交換樹脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量，并對硼離子流出物進行分析≤ 0.005μG/L遠低于硼離子的要求≤ ASTM-D5127-13標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中的0.05μg/L。我們相信更高質(zhì)量的超純水可以給半導(dǎo)體帶來更好的性能，給半導(dǎo)體企業(yè)帶來更強的優(yōu)勢。
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