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半導(dǎo)體超純水工藝中Huncotte系統(tǒng)選用核級(jí)樹脂，可通靶向離子交換樹脂有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量，并對(duì)硼離子流出物進(jìn)行分析≤...
單晶硅在生產(chǎn)過程中對(duì)水的要求非常嚴(yán)格，如果水質(zhì)不合格會(huì)直接影響到單晶硅的質(zhì)量，導(dǎo)致單晶硅的性能下降，如果將這種劣質(zhì)產(chǎn)品應(yīng)用于其他產(chǎn)品，也會(huì)影響到其他產(chǎn)品的性能，...
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