X

  XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um   (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)

  Z 線性精度: E1=(1.8+5L/1000)um   (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可選5X鏡頭)

特征：

- 測量范圍：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm

- 50公斤承載力

- 亞微米的光柵尺分辨率

- 平臺移動速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒

- 可選的X-Y無阻力線性馬達(dá)驅(qū)動，平臺速度400 mm/秒

- 誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯

- 雙重放大光學(xué)系統(tǒng)，固定鏡頭，內(nèi)部放大1-4倍

- 可編程LED平臺背光及同軸表面光照明

- 可編程多色（紅、藍(lán)、綠、復(fù)合白色）環(huán)形燈(PRL)選項

- TTL激光選項，具有自動聚焦和掃描功能

- 三角和共焦激光位移傳感器選項

- SpectraProbeTM  高分辨率彩色傳感器選項

- *的圖像處理性能，快速、精確、穩(wěn)健

- 雙通道，數(shù)字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例

- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel

- 獨立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg

- 可選配一體式可調(diào)節(jié)高度的工作站活動臂及平臺，上可放置平板顯示器、鍵盤鼠標(biāo)及周邊設(shè)備

- 強大的測量軟件和數(shù)據(jù)分析工具可供選擇

- 平均*工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時

Summit的應(yīng)用范圍包括：

半導(dǎo)體/電子

PCB板與Stencil

光罩

引線框，引線接合，柔性線路板，連接器

SMT元件貼裝

錫膏/環(huán)氧數(shù)脂膠點

芯片載體和托盒

噴墨打印機墨盒

數(shù)據(jù)存儲

磁盤介質(zhì)基板

滑塊和懸臂組(HGA)

Wafer carriers and row bar pallets

精密注塑和機加工件
模具和刀具