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    武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
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    皮秒激光劃片設(shè)備

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時間:2022-06-28 09:27:56瀏覽次數(shù):499次

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    同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
    采用紫外皮秒激光器,針對硅和化合物半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行精密半切或全切。 切割線寬 ≤20±5μm(含HAZ) ......
    產(chǎn)品優(yōu)勢
    • 01
      加工質(zhì)量高

      切割線寬窄(以紫外準(zhǔn)直為例,切割線寬 +HAZ≤20±5μm),崩邊小(≤10μm)


    • 02
      加工效率高

      UPH≥10 (紫外振鏡:以3英寸雙臺面硅二極管晶圓為例,含自動對位時間)


    • 03
      加工穩(wěn)定性好

      激光器脈沖穩(wěn)定性高(≤2% rms),光束質(zhì)量高( M2≤1.2) 


    技術(shù)參數(shù)
    內(nèi)容主要技術(shù)參數(shù)
    設(shè)備型號LUD3200LUD3210
    激光器參數(shù)中心波長   ~355nm~355nm
    加工頭     激光掃描頭激光準(zhǔn)直頭
    加工性能有效工作行程 200x300mm(選配)、  DD馬達(dá)200x300mm(選配)、  DD馬達(dá)
    重復(fù)定位精度±2μm 、  ± 5arc sec±2μm 、  ± 5arc sec
    視覺定位正面定位 、正面切割正面定位 、正面切割
    劃線線寬≤30± 5 μm≤20± 5 μm
    其他供電規(guī)格   220V/50Hz/3 .5 kW      220V/50Hz/3 .5 kW
    整機(jī)尺寸 1500mm*1700mm*2000mm  1500mm*1700mm*2000mm
    設(shè)備重量  1500 Kg 1500 Kg


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