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    武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
    免費(fèi)會(huì)員

    納秒激光劃片設(shè)備

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地

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    更新時(shí)間:2022-06-28 09:22:03瀏覽次數(shù):609次

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    同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
    采用納秒激光器,針對(duì)GPP晶圓等進(jìn)行精密劃切。 切割頭 自研 重......
    產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
    • 01
      加工質(zhì)量高

      切割線寬窄(以紫外劃片為例:含HAZ≤30±5μm),崩邊小≤10μm


    • 02
      加工效率高

      UPH≥15 (以40Mil,5英寸GPP晶圓為例,含自動(dòng)上下料) 


    • 03
      加工穩(wěn)定性好

      納秒激光器功率穩(wěn)定性*,光束質(zhì)量好(M2 <1.5) 


    技術(shù)參數(shù)
    內(nèi)容主要技術(shù)參數(shù)
    設(shè)備型號(hào)LUD3200LUD3210
    激光器參數(shù)中心波長~355nm~1064nm
    加工頭自制切割頭自制切割頭
    加工性能有效工作行程200x300mm(選配)、DD馬達(dá)200x300mm(選配)、DD馬達(dá)
    重復(fù)定位精度±2μm、±5arc sec±2μm、±5arc sec
    視覺定位正面定位、正面切割正面定位、背面切割
    劃線線寬≤30±5μm≤40±5μm
    其他供電規(guī)格220V/50Hz/3.5kW220V/50Hz/3.5kW
    整機(jī)尺寸1150mm*800mm*1700mm1150mm*800mm*1700mm
    設(shè)備重量1000 Kg1000 Kg


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