當前位置：大族激光科技產業(yè)集團股份有限公司>>半導體行業(yè)>> IFOX系列自動化光學晶圓檢測設備
主要特點：
1、成像質量:使用的相機技術以實現超快速度且極小像差的掃描
2、量測集成包：大族激光是使用量測集成包的公司，能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案
3、光學系統(tǒng):使用自主*的大視野顯微鏡，配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術
4、缺陷查找：使用*的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異
5、直線高精電機，XYZ平臺, 100納米分辨率
6、機械結構200納米精度
7、潔凈化設計 (運動平臺在晶圓下側)
8、浮式基座平臺減小設備震動影響
主要參數:
加工效果：
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