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當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)>> IFOX系列自動化光學(xué)晶圓檢測設(shè)備
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
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更新時間：2023-03-09 18:48:44瀏覽次數(shù)：689次
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主要特點(diǎn)：
1、成像質(zhì)量:使用的相機(jī)技術(shù)以實(shí)現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描
2、量測集成包：大族激光是使用量測集成包的公司，能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案
3、光學(xué)系統(tǒng):使用自主*的大視野顯微鏡，配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術(shù)
4、缺陷查找：使用*的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異
5、直線高精電機(jī)，XYZ平臺, 100納米分辨率
6、機(jī)械結(jié)構(gòu)200納米精度
7、潔凈化設(shè)計 (運(yùn)動平臺在晶圓下側(cè))
8、浮式基座平臺減小設(shè)備震動影響
主要參數(shù):
加工效果：
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