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當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)>> DSI-S-LA9200全自動(dòng)激光退火設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)DSI-S-LA9200
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：市場(chǎng)部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-01-15 15:05:55瀏覽次數(shù)：1234次
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IFOX系列自動(dòng)化光學(xué)晶圓檢測(cè)設(shè)備
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)與集成，提供系統(tǒng)解決方案
2、退火面均勻性高，電學(xué)特性優(yōu)秀
3、兼容4、6英寸薄片晶圓
4、激光分布均勻、能量穩(wěn)定，配置監(jiān)控與補(bǔ)償系統(tǒng)
5、嚴(yán)格控制腔體含氧量和非退火面溫度
6、高精度全自動(dòng)EFEM傳輸模組
7、符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4inch、6inch |
| 加工速度 | 1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
| 激光器參數(shù) | 紫外 | |
| 稼動(dòng)率 | 98%以上 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | ＞1000H | |
| 良率 | ≥99.5% |
加工效果：
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