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當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)>> DSI-G-WMK3001-A全自動(dòng)晶圓ID打標(biāo)設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號DSI-G-WMK3001-A
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：市場部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-01-14 15:18:32瀏覽次數(shù)：552次
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IFOX系列自動(dòng)化光學(xué)晶圓檢測設(shè)備
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
采用高精度二維直線電機(jī)平臺，DD馬達(dá)晶圓雙臂搬運(yùn)機(jī)器人，全自動(dòng)視覺定位，設(shè)備配置標(biāo)刻內(nèi)容校驗(yàn)功能
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 2-6inch晶圓片 |
| 加工速度 | UPH≥60pcs | |
| 加工精度 | ±10μm | |
| 平臺參數(shù) | 行程400mm*250mm， 重復(fù)定位精度±0.002mm， DD馬達(dá)重復(fù)定位精度±2arcsec | |
| 激光器參數(shù) | 紫外納秒，平均功率3W | |
| Tact time | ＜60s | |
| 稼動(dòng)率 | / | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | / | |
| 良率 | 99.9% |
加工效果：
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