您好, 歡迎來到機(jī)床商務(wù)網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到機(jī)床商務(wù)網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>大族激光-等離子清洗/除膠>> 晶圓等離子清洗機(jī)（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預(yù)處理/介電質(zhì)刻蝕/晶圓凸點(diǎn)/有機(jī)污染去除/晶圓減薄）
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：市場部查看聯(lián)系方式
更新時間：2021-12-01 14:04:45瀏覽次數(shù)：941次
聯(lián)系我時，請告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)功能：
可清洗晶圓表面的顆粒、有機(jī)物、金屬雜質(zhì)、氧化物
特點(diǎn)：
1)相較于真空等離子，可以在常壓下工作
2)工作效率遠(yuǎn)高于真空等離子
3)氬氣等離子輝光為低溫，不會破壞晶圓
| 序號 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 電源電壓 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 電源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作頻率 | 13.65MHz |
| 4 | 設(shè)備功率 | <3.2KW（依實(shí)際為準(zhǔn)） |
| 5 | 氣源要求 | 根據(jù)產(chǎn)品選AR，N2，O2等氣體 |
| 6 | 壓縮空氣 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主機(jī)尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等離子頭尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，機(jī)床商務(wù)網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
會員1.png)
機(jī)床商務(wù)網(wǎng)