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更新時(shí)間：2021-12-01 13:58:16瀏覽次數(shù)：1464次
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晶圓等離子清洗機(jī)（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預(yù)處理/介電質(zhì)刻蝕
在線式自動(dòng)真空等離子/進(jìn)口等離子/攝像頭模組/芯片支架/芯片框架
線性等離子清洗機(jī)（低溫等離子清洗機(jī) 寬幅氮?dú)獾入x子 寬幅plasma
采用第2、3代技術(shù)的等離子清洗機(jī)（第1代是壓縮空氣，第2代是氮?dú)猓?代是氬氣），射頻介質(zhì)阻擋放電、DBD放電技術(shù)，在3種大氣等離子清洗機(jī)中清洗能力佳，清洗效果與真空等離子清洗機(jī)相當(dāng),行業(yè)內(nèi)稱(chēng)為*大氣清洗機(jī)。
| 外形尺寸 | 1855mm(L) x 1137mm(W) x 1251mm(H) |
| 有效處理寬度 | 20-5000mm |
| 電源 | 交流 220伏，單相50~60赫茲 ~ 10安 |
| 使用氣體 | 氬氣（Ar）/氮?dú)猓∟2）； |
| 制冷方式 | 空冷、水冷 |
| 功率 | 0~6000W |
| 傳送速度 | 0 ~ 60mm/sec (異步電動(dòng)機(jī)) |
| 等離子頭高度控制范圍 | 0~80mm，等離子產(chǎn)生時(shí)推薦高度：1~4mm； |
| 控制方式 | PLC Type (觸摸屏界面控制) |
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