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    技術(shù)分享 | 直線柵尺的應(yīng)用和選型指南

    閱讀:120      發(fā)布時(shí)間:2024-10-17
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      力豐集團(tuán)作為三豐的重要代理和合作伙伴,長期深耕全球制造業(yè),積累了豐富的行業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。
     
      針對(duì)上、中、下游客戶對(duì)快速測(cè)量技術(shù)的迫切需求,我們提供了量身定制的理想解決方案,助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率,優(yōu)化質(zhì)量控制流程,從而在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中保持地位。
     
      直 線 柵 尺
     
      可以簡(jiǎn)單理解為一把“尺子”,多被應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床或高精度測(cè)量設(shè)備上,用來檢測(cè)直線位移或是角度位移。
     
      
           直線柵尺作為機(jī)床直線軸的位置檢測(cè)傳感器,也被稱為機(jī)床的“眼睛”,“監(jiān)視”直線軸在執(zhí)行數(shù)控系統(tǒng)的移動(dòng)指令后,該直線軸是否真正準(zhǔn)確地運(yùn)行到數(shù)控系統(tǒng)指令所要求的位置,并予以反饋,是機(jī)床加工和控制不可少的部件之一。
     

    直線柵尺的應(yīng)用示例
     
      直線柵尺在車床、銑床等通用機(jī)床,以及包括專有設(shè)備在內(nèi)的所有機(jī)床、專業(yè)機(jī)械、半導(dǎo)體制造裝置,精密測(cè)量儀器等方面,直線柵尺已經(jīng)逐步替代了傳統(tǒng)的刻度盤定位操作,大幅提高了機(jī)器的工作效率和精度。
     
      半導(dǎo)體裝置
     
      用于切割鋸的定位
     

           曝光裝置
     
      用于掃描臺(tái)的定位
     

           電子顯微鏡
     
      用于掩膜的觀測(cè)/電路圖案的測(cè)長等
     

           各種NC機(jī)床
     
      用于高精度全閉環(huán)控制
     

           電子元件安裝機(jī)
     
      用于電子元件的高速、高精度安裝
     

           FPD檢查裝置
     
      用于缺陷檢查、修復(fù)定位
     

    直線柵尺的選型
     
      直線柵尺根據(jù)控制方式、外觀結(jié)構(gòu)、原點(diǎn)確立方式及檢出原理等可分為的多種類型。
     
      
           分類如此“復(fù)雜”,怎樣才能選擇出適合的那款柵尺呢?事實(shí)上,在了解柵尺的分類原則之后,這個(gè)問題也就迎刃而解了。
     
      外觀結(jié)構(gòu)
     

           敞開式(ST型)
     
      因其是開放式,所以對(duì)環(huán)境要求較高。多被應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD相關(guān)設(shè)備、貼片機(jī)或是高精度機(jī)床等儀器。
     
    三豐測(cè)量設(shè)備上的敞開式柵尺
     
      封閉式(AT型)
     
      通過框架保護(hù)標(biāo)尺,因此擁有更優(yōu)異的耐環(huán)境性。
     
      在使用過程中可有效地防塵、防切削液,被廣泛應(yīng)用于機(jī)床之中。
     
    AT系列采用新型封閉式結(jié)構(gòu),更有效防塵/防水
     
      原點(diǎn)確立方式
     
      無論是敞開式還是封閉式,根據(jù)原點(diǎn)設(shè)置的不同又可分為絕對(duì)系統(tǒng)(ABS)型和增量系統(tǒng)(INC)型。
     
      
           增量式(INC)直線柵尺因其價(jià)格較低而被廣泛用在機(jī)床上,但隨著用戶對(duì)精度和效率的要求越來越高,絕對(duì)式(ABS(直線柵尺的需求(NC數(shù)控、線性編碼器)越來越多。
     
    ▲ABS和INC系統(tǒng)的比較▲
     
      檢測(cè)原理
     
      根據(jù)檢測(cè)原理的不同,直線柵尺又被分為光電式、靜電電容式、磁氣式、電磁感應(yīng)式等。其中,光電式直線柵尺精度高,而電磁感應(yīng)式耐環(huán)境性更優(yōu)秀,各有所長。您可以根據(jù)實(shí)際需求情況,選擇最為適合的那款柵尺。
     
      三豐直線柵尺按照檢測(cè)原理可細(xì)分為光電式(透射型、反射型)、電磁感應(yīng)式、雙遠(yuǎn)心光學(xué)式等類型。
     
      01 透射型光電式
     
      將玻璃柵尺的透射光量變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的方式稱為透射型光電式。將封閉式直線柵尺是以玻璃柵尺為長度基準(zhǔn),使用發(fā)光元件、受光裝置,通過其刻度格檢測(cè)光量變化并輸出偏移量。
     

           02 反射型光電式
     
      光電式敞開式線性柵尺是使用發(fā)光元件、受光裝置,通過玻璃柵尺的刻度格檢測(cè)光量變化的偏移量。將玻璃柵尺的反射光量變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的方式叫作反射型光電式。
     

           03 電磁感應(yīng)式
     
      電磁感應(yīng)式柵尺是利用電磁感應(yīng)將偏移量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電磁感應(yīng)如[圖1]所示,是2個(gè)線圈相對(duì)放置時(shí),向線圈A中通入隨時(shí)間變化的電流Ι1后,在線圈A的周圍產(chǎn)生磁通量,線圈B中沿抵消磁通量的方向產(chǎn)生感應(yīng)電流Ι2的現(xiàn)象。
     
      
           線圈間的導(dǎo)磁率在空氣、水、油中基本無差別,因此電磁感應(yīng)式傳感器具備出色的耐水性、耐油性。
     

           04 雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)
     
      兩側(cè)配備攝像光學(xué)系統(tǒng)的光電式線性編碼器,兩側(cè)的遠(yuǎn)心攝像光學(xué)系統(tǒng)以圖像形式捕捉柵尺刻度,使用受光裝置檢測(cè)移動(dòng)量的方式叫做雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)。
     
      
           兩側(cè)采用遠(yuǎn)心攝像光學(xué)系統(tǒng),提高了編碼器穩(wěn)定性的同時(shí),焦點(diǎn)深度更大,擴(kuò)大了GAP變化容許范圍(柵尺波紋度、載物臺(tái)的姿態(tài)變化、檢出器的安裝容許范圍等),同時(shí)攝像范圍大,擴(kuò)大了對(duì)于柵尺臟污和微小傷痕等的容許程度。
     

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