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    大型雙面研磨機(jī)

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    更新時(shí)間:2017-11-05 19:52:32瀏覽次數(shù):1265

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    該機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體板、石英晶體、五金密封件、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光

    詳細(xì)介紹

    主要特點(diǎn):

      1.進(jìn)口變頻器配合變頻電機(jī)拖動(dòng),實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng),軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。
      2.采用二電機(jī)同步拖動(dòng),可選擇游星輪的變速范圍更廣,能適用不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
      3.單獨(dú)電機(jī)抬升內(nèi)齒圈,并在總行范圍內(nèi)隨意停留,滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求。通過調(diào)節(jié)太陽輪座上的三組不同的厚度的不銹鋼片改變太陽輪高度,調(diào)整方法簡(jiǎn)便。
      4.采用國(guó)內(nèi)*的防腐技術(shù)對(duì)齒圈座的下磨盤座進(jìn)行處理,大大提高了其耐蝕性,繼而也提高并能*保證底座安裝精度。
      5.電氣系統(tǒng)采用可靠性高的PLC實(shí)現(xiàn)。氣動(dòng)系統(tǒng)全部選用高品質(zhì)的元件,主氣缸為精密低摩擦力氣缸,壓力調(diào)整采用高動(dòng)態(tài)特性的進(jìn)口電氣比例閥元件。
      6.壓力調(diào)整采用電氣比例閥與拉力傳感器實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)反饋控制,其靜態(tài)調(diào)整精度<2Kg,動(dòng)態(tài)壓力波動(dòng)<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工穩(wěn)定性,進(jìn)而確保提高元件加工精度及合格率。
      7.人機(jī)界面(HMI)顯示與PLC主控制器結(jié)合,一方面顯示運(yùn)行參數(shù),另一方面通過其他觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)參數(shù),主操作由普通鍵鈕完成。
      8.采用自動(dòng)潤(rùn)滑裝置,用戶可根據(jù)自己的使用情況,設(shè)定自動(dòng)潤(rùn)滑時(shí)間,使機(jī)器的各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面,齒輪嚙合部位得到充分潤(rùn)滑,大大提高了整機(jī)的使用壽命。
      9.研磨機(jī)配置了高精度的測(cè)厚裝置,工件加工的動(dòng)態(tài)情況通過HMI隨時(shí)可見。
      10.可根據(jù)用戶的加工工藝要求,選裝拋光液溫度調(diào)節(jié)裝置(單制或雙制均可)。

     

    主要技術(shù)參數(shù)

    磨盤轉(zhuǎn)速: 0~60rpm
    游行輪參數(shù):公制M=3Z=154a=20°
    游行輪數(shù)量:5個(gè)
    zui小研磨厚度:5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
    zui大可控研磨厚度:20mm(可根據(jù)要求特殊定制)
    zui大研磨直徑:Φ400mm
    主電機(jī):15KW4級(jí)三相AC380V
    太陽輪電機(jī):1.5KW4級(jí)三相AC380V
    內(nèi)齒圈電機(jī):1.5KW4級(jí)三相AC380V
    氣源:0.5~0.7Mpa
    外型尺寸:2500×1650×3000mm
    機(jī)器重量:~7000kg
    砂泵電機(jī)(帶攪拌):4KWAC380V
    主機(jī)精度
    下研磨盤端面跳動(dòng):0.08mm
    淹沒面平面度:0.02mm
    太陽輪徑向跳動(dòng):0.20mm
    內(nèi)齒圈徑向跳動(dòng):0.25mm
    加工精度(四個(gè)修正輪修研后)
    *性:0.008mm
    平面度:0.005m
    平行度:0.006mm
    加工能力
    單片承片量:Φ1704片,Φ2002
    整盤承片量:Φ17020片,Φ20010

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