詳細(xì)介紹
描述
YSi-SP | ||
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對(duì)象基板尺寸 | L510mm×W460mm ~ L50mm×W50mm(單軌機(jī)型) ※軌機(jī)型 | |
水平分辨率(FOV尺寸) | 1)25μm / 12.5μm(約50×50mm) 2)20μm / 10μm(約40×40mm) 3)15μm / 7.5μm(約30×30mm) ※均為標(biāo)準(zhǔn)選擇式 | |
高度分辨率 | 1µm | |
檢查項(xiàng)目 | 錫膏印刷狀態(tài)(體積、高度、面積、位置偏移) | |
電源規(guī)格 | 單相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz | |
供給氣源 | 無需空氣 | |
外形尺寸(突起部除外) | L904×W1,080×H1,478mm | |
主體重量 | 約550kg |
- 規(guī)格、外觀如有變動(dòng),恕不另行通知。